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電気学科の清家善之教授が岩木賞優秀賞・事業賞を同時受賞

2019.02.25 受賞・表彰

 電気学科の清家善之教授(電気電子材料研究室)が、旭サナック株式会社、九州大学との共同研究で「第11回 岩木トライボコーティングネットワークアワード」(岩木賞)の優秀賞・事業賞を同時受賞しました。

 受賞業績「脱真空回転霧化式二流体スプレー法を用いた三次元スタック構造半導体デバイスへのコンフォーマル成膜」は、スマートフォンやAI機器などに使用されている三次元に積層された半導体デバイスの製造工程を飛躍的に改善できる技術です。この技術は、間口数十マイクロメートルオーダーの精度が求められるシリコン貫通電極(TSV)壁面に、新たに開発した回転霧化式二流体スプレーで成膜するもので、従来は真空下中で行っていたギャップフィル法を大気下で成膜可能にしました。この製造プロセスにおいて、大幅な品質向上とコスト削減ができるものです。半導体製造プロセスで嫌悪される金属コンタミネーション(汚染)やパーティクルが発生しない世界初の小型樹脂製回転霧化式スプレーノズルを用いて、TSV壁面への成膜プロセス技術を開発したことや、さらに同装置による新たなTSV成膜プロセスを見出すことで本装置を半導体デバイスメーカーへ販売し、実用化に成功していることなどが評価されました。

 清家教授は「今回の受賞は本技術に関わった皆さんの努力によって評価頂いたものであり、今回代表して頂戴したもの。皆と共に喜びを分ち合いたい。事業賞は、ノーベル物理学賞を受賞した尊敬するカルフォルニア大学サンタバーバラ校の中村修二先生も昨年受けられた賞なので、大変にうれしい」と話しています。

  • 岩木賞を受賞した清家教授(右から3人目)ら
  • 岩木トライボコーティングネットワークアワード優秀賞・事業賞の表彰状
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