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電気電子材料研究室の院生らが静電気学会誌論文賞を受賞

2022.09.13 受賞・表彰

 大学院工学研究科博士前期課程2年の鈴木洋陽さんと、今春に同課程を修了した福岡靖晃さんらの投稿論文「回帰機械学習を用いた純水の高圧スプレーで生じる静電気量の予知技術」が、論文賞として静電気学会全国大会(9月7~10日・琉球大学とオンラインのハイブリッド大会)で表彰されました。電気電子材料研究室(清家善之教授)に所属する鈴木さんらの論文は、今年1月に静電気学会誌に掲載されました。

 この論文は、半導体デバイスの洗浄に広く用いられている高圧スプレー洗浄時の静電気障害(ESD)の防止を目的に、高圧スプレーで生じるファラデーケージ(導体でできた器)からアースへの電流を測定し、その特徴を明らかにしました。さらに24種の回帰機械学習(連続値を使って別の数値を予測する)アルゴリズムを用いて、発生する静電気量の予測を行い、最適な学習アルゴリズムを提案しました。これらの成果が今後のESD予知に役立ち、静電気分野への貢献は大きいと評価されました。

 この成果は、本学のプロジェクト共同研究で旭サナック株式会社と行ったものです。

  • 代表で表彰された鈴木洋陽さん
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