電気電子材料研究室（清家善之教授）に所属する大学院工学研究科博士前期課程1年の高木羅以さんが、令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会での発表により、電気学会優秀論文発表賞を受賞しました。

　高木さんは「半導体洗浄用汚染基板の作製および評価方法」と題して発表しました。内容は、本多電子株式会社とのプロジェクト共同研究で行った、次世代半導体デバイス洗浄プロセスに向けての新たな超音波振動体型洗浄装置の開発と、その評価についてです。高木さんは「とても栄誉のあることと感動しています。私個人の力でなく、これまで指導してくださった先生方、共同研究先の本多電子株式会社の皆様、自分を支えてくださった研究室メンバーのおかげであると実感しています。今後とも、多くの人たちにお力添えをいただきながら、研究に邁進していきたいと思います」と喜びを話しています。　

　電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会は、電気学会、電子情報通信学会、情報処理学会などの電気・情報分野の数多くの学会の東海支部が共同で主催し、本年度は本学が現地委員となってオンラインで行いました。今回、この賞は電気学会創立100周年記念基金学術振興助成の規定で、356件の一般講演から本学学生を含め16人が受賞しました。