工学研究科博士課程2年の伊藤康生さんが、9月11、12日に名城大学で開催された第49回静電気学会全国大会で、エクセレントプレゼンテーションアワードを受賞しました。

　伊藤さんは電気電子材料研究室（清家善之 電気学科教授）に所属し、「純水二流体スプレー時のSiO₂ウェハトライボ帯電現象の解明」と題した口頭発表を行いました。発表では、半導体製造のウエットプロセスにおけるスプレー洗浄で長年課題となっている静電気障害に関する研究成果を報告。特に、純水スプレーが酸化膜ウェハ上で帯電するメカニズムを明らかにし、その主要因が高速液滴と酸化膜との間で生じるトライボ帯電である可能性が高いことを示しました。

　受賞にあたり、伊藤さんは次のように述べています。

「これまでご指導いただいた電気電子材料研究グループの先生方のおかげです。また、共同研究先の皆さまからも多くの助言をいただき、心より感謝しています。今後、この研究を行っている共同研究先に就職する予定であり、この経験を社会人生活にも活かしたいと考えています。また、本成果について投稿論文を提出しているところですので、その完成度もさらに高めたいと思います。」

　なお、本研究は本学のプロジェクト共同研究Aおよび科研費の支援を受けて実施されたものです。