試料に電子線を照射し表面形状観察と成分分析を行う装置です。 試料に電子線を照射すると試料表面から二次電子が発生し、その発生量を輝度の信号に変換すると像が得られます。 分解能:1.0nm、倍率:×25~650,000
作動ガス、空気、窒素、炭酸ガスを用いた、マッハ4の気流条件でのアーク加熱実験が可能です。発光分光、LIFなどで気流成分、温度の計測が可能です。